第33章 江城七中，李东（1 / 2）

第二天下午，蓉城。

华轩科技四川分公司，一间办公室的阅卷现场。

这次复赛的阅卷组，由三位来自 985高校的物理系教授，以及四位华轩科技研发部门的资深工程师组成。

一个高中杯赛的阅卷阵容如此豪华，只能说一声华轩牛逼。

此时会议室里静悄悄的，只能隱约听见一声声哈欠声。

张默，华轩科技光刻机研发组的高级工程师，此刻正一脸生无可恋的坐在考生的试卷前。

他其实不太愿意来干这个无聊的事。

公司那边的“极紫外光源稳定系统”项目正处於攻坚阶段，天天加班都搞不完，还得抽时间来给一帮高中生改卷子

但是上面的意思很清楚，那就是与其等以后去挖人才，不如提前发现人才开始培养。

“这简直是浪费时间呀。”

张默心里吐槽。

人才哪是说发现就能发现的

而且这次实验题的第三问，是他们研发组半年前才攻克的一个技术路径，你拿到高中来发现人才

这不是开玩笑吗

张默已经连续改了一个小时了。

百分之八十的卷子，这一题都是空著没写的。

剩下的百分之二十，要么是脱离实际的空想，要么就是完全不符合工程逻辑的胡编。

“用伽马射线光刻”，张默无奈的摇了摇头。

伽马射线解析度虽高，但光源、辐射防护和配套光刻胶的工程化难题，短期內根本没有落地的可能。

偶尔有几个答到点子上的，也都是典型的“实验室思维”，完全没考虑成本和良品率。

“浸没式光刻……利用纯水介质提高数值孔径……”

张默看著手里这张试卷，撇了撇嘴。

这是目前量產最成熟的標准答案，很稳妥，但也很无趣。

虽然现在还在大规模商用，但对於追求技术突破的工程师来说，这种答案就像是白开水，解渴但不提神。

“现在的学生啊，书读得倒是多，就是少了点灵气。”

“不过也能理解，毕竟没下过產线，不知道成本两个字怎么写……”

张默隨手在卷面上打了个满分。

就在他打个哈欠，想著晚上吃火锅是点微辣还是中辣的时候，一张试卷让他微微一愣。

【方案名称：双光束雷射干涉无掩模光刻】

他揉了揉眼睛，再確认了一次，確实没有眼花。

就是双光束雷射干涉无掩模光刻。

刚才还昏昏沉沉的脑子，现在一下子就清醒了。

这个思路就是他们组半年前用来解决那个低成本微纳加工难题的核心思路！

他急忙往下看去。

“设两束波长为λ的相干光，对称入射至光刻胶表面……”

“利用空间几何约束，干涉条纹周期 d =λ/……”

“亚波长解析度验证……”

张默是越看越心惊，越看越精神。

这个学生的解法，虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式，没有用到他们工程中那些复杂的傅立叶光学变换和矢量衍射理论。

但是！

逻辑上却挑不出一点毛病。

而且结尾的备註更是让他眼前一亮。

【註：此方案可以省去高精度掩模版製造的环节，而且不需要投影物镜组，虽然对光源相干性与相位稳定性要求较高，但在周期性微纳结构的小批量高精度製造中，成本优势巨大。】

“嘶。”

张默咽了咽口水，忍不住喝了一口桌上的咖啡。

“有灵性，这是真的懂行。”

这个学生准確的抓住了“无掩模”和“去透镜化”这两个降本增效的关键点。

张默在心里快速估算了一下。

如果按照这个学生简化的思路，去搭建一个用於特定製程的中试线。

省去了千万级的投影物镜，省去了百万级的掩模版套组。

“高相干稳频光源成本虽然会提升 2倍左右，但整体 bo成本……至少能下降 40%！”

他自己都有些惊疑不定了。

“真的假的”

他快速抽出一张 a4纸，飞快的验算起来。

Δst≈ st_ser_stable -

他在纸上画出了几个简易的模块图，嘴里念念有词。

“如果用他在题里提到的『分光稜镜』做相干分光，配合平面反射镜做光路摺叠，机台的体积还能再缩小……”

如果按照这个学生简化的思路去搭建实验台，成本比他们现在用的那套设备，起码还要低 10%15%。

“不行，得让组里的人先做个模擬！顺著这个高中物理的思路，看看能不能把那个该死的『相位锁定模块』给简化掉！”

张默此时已经顾不上什么阅卷纪律了，他拿著试捲起身就向外走去。

旁边的教授诧异道。

“张工，你去哪卷子还没改完呢。”

张默就像没听见一样，嗯，他確实是没听见，现在他满脑子都是降低成本。

留下几个阅卷老师面面相覷。

“怎么了这是”

“不知道啊……”

大家议论了下也就继续批改手中的试卷了，谁还没有个改卷改到奔溃的时候呢。